Презентация на тему "Микро- и наноэлектромеханические системы."

Содержание

• 
  Слайд 1

  Микро- инаноэлектромеханическиесистемысистемы.

  Подготовил: Малюгин А.А. гр.2-9

• 
  Слайд 2
  
• 
  Слайд 3
  

  Наноэлектромеханические системы (НЭМС) характеризуются малыми размерами, при этом их размеры соответствуют функциям, выполняемыми устройством. Граничные размеры варьируются от нескольких сотен до единиц нанометров. Новые физические свойства, появившиеся благодаря малым размерам, играют ведущую роль в операциях, выполняемыми этими устройствами, поэтому для их изготовления потребуются новые подходы.

• 
  Слайд 4
  

  Раньше Сейчас

• 
  Слайд 5
  
• 
  Слайд 6
  
• 
  Слайд 7
  

  Как известно, механические системы колеблются с собственной частотой ω0 ~ ()1/2, где kэфф – эффективная жесткость, а mэфф – эффективная масса системы. Если мы уменьшаем L – линейный размер устройства, сохраняя его форму, то ω0 будет увеличиваться, поскольку kэфф~ L, тогда как mэфф ~ L3. При этом, высокие значения величины ω0 соответствуют высоким скоростям отклика системы на внешние силы, что позволяет создавать на основе НЭМС чрезвычайно чувствительные измерительные устройства.  

• 
  Слайд 8
  
• 
  Слайд 9
  

  Очевидно, что для движения какого - либо объекта нужно подвести к нему и затратить некоторое количество энергии, точно так же как для человека необходима еда, чтобы двигаться и жить. В микро- и наносистемах вместо электромагнитного принципа преобразования энергии, используемого повсеместно в «макроэлектронике», часто используют пьезоэлектрический или электростатический эффекты; в зависимости от выбора принципа работы наноустройств подвод энергии к микро- или «наноэлектромеханической системе» может осуществляться также электрически, термически или химически.

• 
  Слайд 10
  
• 
  Слайд 11
  
• 
  Слайд 12
  

  Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Механическим компонентом может быть миниатюрное зеркальце — элемент системы сканирования (например, для технологии DLP), либо примитивный инерциальный датчик, способный определить характерные движения, которые пользователь проделывает со своим устройством. МЭМС-устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС-микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.

• 
  Слайд 13
  
• 
  Слайд 14
  
• 
  Слайд 15